WF6 у асноўным выкарыстоўваецца ў якасці сыравіны для працэсу хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD) металічнага вальфраму ў электроннай прамысловасці. WSi2, атрыманы з WF6, можа выкарыстоўвацца ў якасці матэрыялу для правадоў у буйных інтэгральных схемах (LSI), а таксама можа выкарыстоўвацца ў якасці сыравіны для паўправадніковых электродаў, фтору, хімічных рэчываў, каталізатараў палімерызацыі, аптычных матэрыялаў і г.д.